• 仪器装置
  • 仪器装置与方法
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  • 仪器装置与方法一种均匀大面积无损氢化半导体的制备方法及装置2024-03-05CN202410250450.X本发明涉及半导体材料表面工程技术领域,主要是一种均匀大面积无损氢化半导体材料的制备方法、装置及应用。本发明采用热丝阵列催化裂解氢气变成氢原子,产生均匀的氢原子束,并使其动能保持小于0.5电子伏特,然后通过与材料表面或渗透到材料次表面形成化学键来实现可控氢掺杂,不会使半导体材料产生不可逆的晶体结构破坏,从而实现无损氢化,特别对传统氢化敏感的半导体材料,能够突破传统氢化方法的限制,扩大其应用范围。[详情]
  • 仪器装置与方法一种用低能氢等离子体实现在常温下制备氢化半导体的方法及装置2024-03-05CN202410250470.7本发明涉及半导体材料表面工程技术领域,主要是一种低能氢等离子体常温制备氢化半导体材料的方法、装置及应用。本发明在样品台周围添加电磁线圈来产生磁力线,增加氢离子的密度,降低启动氢等离子体的功率,产生低能氢离子,然后采用低电压来加速氢离子到半导体表面,能够将氢离子渗透深度控制在0.1~2nm,从而避免产生体缺陷和复合中心,实现了室温可控氢化,能够批量制备均匀、大面积的氢化半导体材料。[详情]
  • 仪器装置一种固体废弃物高温无害化处理装置2024-04-08CN202410413222.X本申请提供一种固体废弃物高温无害化处理装置及方法,包括热解系统组件、气化熔融炉组件和二次燃烧组件,其中,热解系统组件包括依次连通的热解炉、旋风分离器、净化洗涤塔、气液分离器和缓冲罐;气化熔融炉组件包括气化熔融炉和浸没式燃烧器,浸没式燃烧器位于气化熔融炉的底部;二次燃烧组件包括二次燃烧室和多燃料燃烧器。本申请的固体废弃物无害化处理装置和方法能对固体废弃物高温处理后产生的产物进行再处理和再利用,能少用或不用额外辅助燃料,处理后产生的气体无污染,有效地提高了能源利用效率。[详情]