一种基于渐变带隙吸收层结构的单探测器微型光谱仪

发布者：技术转移办公室发布时间：2025-04-14浏览次数：69

技术主题：后摩尔器件与集成系统

发明名称：一种基于渐变带隙吸收层结构的单探测器微型光谱仪

申请时间：2023-03-31

申请号：CN202310344962.8

摘要：本发明涉及一种具有渐变带隙吸收层结构的单像素探测器微型光谱仪，从下之上依次包括衬底层、阴极接触层、渐变带隙吸收层、阻挡层、吸收层和阳极接触层，阴极、阳极两个金属电极分别生成在阴极接触层和阳极接触层上。采用渐变带隙的半导体材料作为吸收层，能够随偏压增加逐步拓展光谱吸收范围，从而对入射光谱信息进行特异性编码，配合重建算法高效快速重建出入射光谱；采用体材料作为探测器制备的材料体系，相关工艺成熟且较二维材料等新材料而言其制备更简便，成本更低；其实体部分仅有一个单像素光电探测器，无需冗繁的分光元件与光路即可工作，可以实现极小的尺寸，尺寸可随光刻板任意变化，满足不同需求下的应用场景。