发布者:技术转移办公室发布时间:2025-04-14浏览次数:62
技术主题:后摩尔器件与集成系统
发明名称:基于特种光纤的光子芯片绝热耦合器
申请时间:2023-04-28
申请号:CN202310480578.0
摘要:本发明提供一种适于晶圆级原位检测的光耦合器,包括片上波导和片外特种光纤,所述片上波导和片外特种光纤之间绝热耦合,本发明还提供一种适于晶圆级原位检测的光耦合器在集成光子学领域中的应用;本发明的适于晶圆级原位检测的光耦合器经过优化在极广的波长区间实现99%以上的耦合效率,效率高、带宽大、偏振不敏感、对准容差大、测试简单,可以进行晶圆级原位测量。