一种高精密显影方法

发布者：技术转移办公室发布时间：2025-04-14浏览次数：10

技术主题：微纳制造工艺方法

发明名称：一种高精密显影方法

申请时间：2023-06-30

申请号：CN202310803231.5

摘要：本发明提供一种光刻胶精密显影系统、显影方法及存储介质，光刻胶精密显影系统包括固定架和承载台，狭缝涂头以及狭缝涂头的X‑Y向运动控制装置，超声喷头以及超声喷头的Y向运动控制装置，液体控制装置；本发明光刻胶精密显影系统的显影方法使用狭缝涂布+超声矩阵化方式的来进行精密显影，可以精度控制显影液厚度均匀性达到3％以内、量化显影图案与显影液关系，实现了节约显影液用量、增加了显影均匀性、减少缺陷几率、提高图案精细化。