一种精密显影涂布头

发布者：技术转移办公室发布时间：2025-04-14浏览次数：10

技术主题：微纳制造工艺方法

发明名称：一种精密显影涂布头

申请时间：2023-08-04

申请号：CN202322101459.8

摘要：本实用新型提供一种精密显影涂布头，包括：挤压头上唇、挤压头下唇以及设于所述挤压头上唇和挤压头下唇之间的厚度可调节的垫片；所述挤压头下唇中设置有依次连通的、粗糙度逐级减小的凹槽，所述凹槽与挤压头上唇之间形成多级稳流通道，所述挤压头下唇包括唇口，所述唇口与挤压头上唇之间形成出料口，所述挤压头下唇上设有供料口，所述多级稳流通道连通出料口和供料口；所述挤压头上唇设有若干吹洗通道；本实用新型的精密显影涂布头可以精度控制低粘度显影液流量、涂布厚度，能够实现精密显影、增加显影均匀性、减少缺陷几率、提高图案精细化。