一种超高真空腔体中残留液体样品的收集装置

发布者：技术转移办公室发布时间：2025-04-14浏览次数：27

技术主题：等离子物理

发明名称：一种超高真空腔体中残留液体样品的收集装置

申请时间：2023-07-14

申请号：CN202310870873.7

摘要：本发明公开了一种超高真空腔体中残留液体样品的收集装置，包括液体束流阱上端、残留液体样品入射口、加热元件、热敏电阻、液体束流阱下端、标准真空法兰、闸板阀、竖直方向自由度调节装置、液体样品冷却罐、液氮输入口、氮气输出口、不锈钢管、杜瓦罐。该装置通过液体束流阱上端面入射口将残留的液体样品采用液氮冷却收集装置冷凝到液体样品冷却罐上，实现超高真空腔体中残留液体样品的回收。本发明设计科学简单、操作便捷、回收高效，能够及时快速的将实验过程中腔体中多余的液体样品处理干净，最大限度减少多余液体样品对真空腔体真空度的影响，可适用于超高真空腔体中不同残留液体样品实验的研究。